苏联遗产Planar造出俄首台350nm光刻机，老牌技术能否逆袭西方封锁？
标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。
首台国产商业化电子束光刻机诞生，量子芯片研发从此有了“中国刻刀”
标志着中国高端半导体装备产业迈入新阶段。
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