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中国刻刀来了，首台国产商业
电子束
光刻机“羲之”出炉：和EUV光刻机有何区别
标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。
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精度 0.6 纳米，全国首台国产商业
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光刻机在杭“出炉”
08/14
全国首台国产商业
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08/14
首台国产商业化
电子束
光刻机诞生，量子芯片研发从此有了“中国刻刀”
首台国产商业化电子束光刻机诞生，量子芯片研发从此有了“中国刻刀”
08/14
东方晶源亮相2025集微半导体大会，展现
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量测检测技术
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