本报记者 李家鼎

走进位于天津市津南区的华海清科股份有限公司(以下简称“华海清科”)，化学机械抛光、超精密减薄、离子注入等方面的集成电路关键装备正在有序进行模块组装、整机集成和性能测试。

“我们正在开展化学机械抛光后清洗关键技术与机理研究，优化清洗工艺参数，解决抛光后晶圆表面的颗粒残留与缺陷难题，着力提升清洗效果的稳定性和一致性。”华海清科博士后科研工作站负责人说。

2013年落户津南区以来，华海清科的产品已广泛应用于国内集成电路生产线，为我国集成电路产业自主可控发展提供重要支撑。

一家企业的成长，离不开一个区域对产业链的深耕。“我们打造了海河集成电路设备产业主题园区，出台相关配套支持政策。”津南区工业和信息化局党组书记、局长詹珽介绍，近年来，兴华清科、帝京半导体、锐洁机器人等链上企业加速集结，涵盖装备制造、材料研发、真空系统、半导体器件、自动化设备及封测装备等多个领域，形成了以华海清科为龙头，上下游企业协同发展的集成电路设备产业格局。2025年园区总产值达54.3亿元，同比增长16.14%。

“在园区内就有机械手臂、复杂结构机加件等关键部件的供应方，完备的产业链条让我们省去了‘东奔西跑’的麻烦，更增强了产业竞争力与市场主动权。”华海清科相关负责人说。

近年来，津南区着力建设有引领作用的主题产业园区，打造特色产业集群，推进重点产业向重点园区聚集、重点园区向特色产业聚焦，链园结合，以园聚链，形成“乘法效应”。2024年，海河教育园、天开津南园与津南经开区“三园合一”，以制度创新驱动要素聚合，厚植智能产业发展沃土。

“我们将充分发挥制造业基础优势，打造人工智能技术供给区和智能网联产业集群，加快人工智能学科人才引育，培育优质企业和平台载体，采取‘孵化+服务+引育+推荐’多元路径推动智能产业集聚。”詹珽说。

(连莲、董莹莹参与采写)

《 人民日报 》( 2026年05月28日 15 版)