半导体光罩上的纳米级缺陷、玻璃基板上几微米的钻孔。广州因特智能展示了AI视觉如何从实验室走进高端制造产线,用软硬结合的方式解决中国在半导体检测装备领域的卡脖子问题。
广州因特智能孵化于西安电子科技大学广州研究院,是校地合作落地的典型科技企业。我们拒绝“纸上算法”,坚持软硬一体,为半导体、光通信、新能源三大领域提供高端检测装备,已服务国内头部客户及全球企业。
以下为演讲内容,经36氪整理编辑:
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刘金硕丨广州因特智能科技CEO
非常感谢36氪和亦庄的邀请,很荣幸在这里跟大家进行科技界的产品技术交流。与前几位嘉宾的分享角度不同,我们是一家扎根实体制造的科技公司,专注用AI视觉技术解决工业场景的“卡脖子”检测难题。
简单介绍我们公司,广州因特智能科技。我们是由西安电子科技大学广州研究院产业成果转化联合实验室孵化,专注于高端制造AI视觉检测装备。公司建有光学测试实验室、高速显微测试实验室、AI 算法通用训练平台测试实验室、AI 边缘服务器研发实验室和柔性化机构研发实验室,并配备近 2000 平方米万级无尘制造车间,形成了从算法研发、光学测试、装备集成到生产交付的完整能力体系。
目前主要聚焦三大细分领域:半导体大基板检测,包含FPD光罩、玻璃基板和陶瓷封装基板;在光通信领域,侧重MPO、CPO光纤端面检测;在新能源汽车主要是压铸件、IGBT总成。
在这三个细分领域里,我们为行业内的头部客户提供了检测装备,有自己的研发、生产、销售。我们成立了智能检测装备联合研究中心,集中西电及产业高精尖资源专门做装备的落地。目前拥有核心软著和发明专利2项,还在申请的专利8项,发明专利8项,软著5项。
我们不只是专注于实验室,而是专注整个产业去做落地。成立至今,我们服务的主要是产业内的头部大客户,目前已出了可复制的设备,可批量落地。接下来跟大家介绍一下核心产品和技术。
产品一是高速显微AOI检测平台,主要针对半导体行业和光通信行业。肉眼看不见的东西,都是用这个平台来实现的。这个平台用显微镜做检测镜头,通过控制再加上AI算法,实现缺陷检测。光罩检测、玻璃基板检测、晶圆检测、OLED基板检测,大部分偏向高精度、高速度的检测。
光学成像是在高速显微里我们最核心的技术之一。最小检出缺陷0.18μm,测量精度达到亚纳米级,另外集成线光谱共聚焦模组、白光干涉模组、深紫外线光源、原子力显微镜应用满足行业2D、2.5D和3D检测测量需求,微观检测成像综合应用和精度行业第一梯队。整个检测模组是比较复杂的,光路设计、移动控制都非常精密。第二个核心技术是算法。算法用的是行业比较先进的DD+DB+Starlight增强算法,基于我们在整个行业中需要做到的程度,这些在国内都比较领先。我们还配备了高精密运控平台。有高精密大理石平台和气浮检测运控平台,核心技术是我们高精度的传动控制导轨加上基台定位精度的反馈算法补偿。
产品二是AI通用训练平台,主要针对新能源汽车行业。汽车压铸件检测面临的挑战更为棘手,产品尺寸大、复杂曲面种类繁多,这些外观特性长期干扰着高效检测的实现。
AI方面,我们自研AI算法,采用“小样本、无监督训练模式”,最少仅需5张图片即可训练一个检测模型;无需复杂编程,15分钟即可完成新零件规格适配,快速响应产线切换。用通俗的比喻来解释:传统AI训练像“手把手教孩子认字”,需要海量标注数据;而无监督自学习则像“孩子自己观察世界”,能够自主学习、持续进化。广州因特智能科技的AI算法就像一位可以自我成长的质检员,在生产中不断积累经验,越用越聪明。
我们一直注重软硬件结合,汽车压铸件AI视觉检测设备搭载西门子边缘服务器,凭借其强大的局部实时算力与毫秒级数据处理能力,打破了海量图像回传的带宽瓶颈,可实现360度全域无死角视觉覆盖,对深腔、凹槽、弧面等难检测区域精准“锁定”。柔性运动控制模块支持高速飞拍,瞬时捕捉缺陷,单个点位检测耗时仅需120毫秒,较行业检测耗时缩短74.4%,充分适配产线高速节拍,各类缺陷0.1毫米级识别,漏检率低至5%。
针对上面提及的三大细分领域,最后给大家介绍我们的实施的案例。
目前因特智能配备了国内首台套、国产替代的FPD光罩缺陷检测设备,小检出缺陷能做到0.18μm。玻璃基板TGV检测设备,能快速把玻璃基板上的每个孔径大概只有3微米,几万到几十万个孔,在极短的时间内把这些孔的孔径测量完,包括检测缺陷。
在光通信领域,针对MPO光纤检测低效难题,广州因特智能科技打造出MPO端面一体化检测设备,包括光模块、MPO模块、CPO等,设备系列比较多。
最后一个是汽车压铸件外观检测设备,我们公司更看重的是给客户交付一整台能用的设备。这台设备是机械臂或多机械臂系列,把相机、镜头、光源集装到机械臂的前端,通过运控对整个压铸件进行飞拍、巡拍,。上面的图像根据客户要求检测每个点位,用飞拍的方式再用AI算法输出结果,哪个点位合格、哪个点位不合格,都可以轻松地进行追溯。最终形态的表达,是多个机械臂相互协作,产品兼容度、复杂度高,上面既有2D、2.5D、3D,还有测量功能全部放上去,给用户去用,包括上料、下料功能。
精准检测,科技领航,广州因特智能科技会持续深耕工业缺陷检测领域,以专业技术体系赋能工业品质管控。
我的演讲就结束了,谢谢大家。





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