科技日报

据中国电子院消息，由该院自主研发的全球首个纳米级微振动实验室在雄安新区正式投运，标志着我国在精密装备微振动环境控制领域实现里程碑式突破，为我国电子制程、空天信息等高端制造业的自主发展提供了关键支撑。

如今，半导体芯片产业已成为大国科技竞争的核心战场，先进制程工艺对生产环境的要求日趋严苛。与此同时，卫星互联网作为新一代信息基础设施的战略支撑，高分辨率遥感卫星和低轨互联网卫星批量快速组网是国家安全的重大需求。在这两大国家级战略需求的牵引下，提升纳米级微振动环境的精确控制与评估能力，可极大促进相关产业发展。

中国电子院雄安纳米级微振动实验室的核心装置是一台全球尺寸最大、精度最高的微振动实验台，堪称“国之重器”，从尺寸到精度、从承载能力到技术性能全方位刷新全球同类设备纪录。

实验台平面尺寸达到4米×4米，台体自重约50吨，设计承载能力高达20吨，能够满足大型半导体设备整机及卫星全尺寸载荷的上台测试需求，这在全球范围内尚属首次。

此次雄安纳米级微振动实验室的投运，一举填补了我国在微振动试验方法、精密设备振动容许标准、隔振装置评价体系以及第三方试验服务等多个环节的技术与市场空白，更为半导体、航天两大国家级战略产业开辟了全新的实验验证通道，为国产高端装备研发量产按下“加速键”。

中国电子院