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Intel 18A芯片厂揭秘:已有4台EUV光刻机 月产4万片晶圆

IP属地 中国·北京 编辑:周琳 快科技 时间:2025-12-25 22:08:13

快科技12月25日消息,Intel前不久发布了18A工艺,这是Intel四年五代工艺中最关键的一环,尤其是20A工艺已经取消的情况下。

按照以前的计算方式,18A工艺就相当于1.8nm工艺,理论上比台积电当前最先进的2nm还要强一些,不过后者现在也没有太多可信数据,就算18A密度不敌它,但总体上略好于3nm工艺应该没问题。

18A工艺还有2大关键创新技术,一个是RibbonFET晶体管,这是Intel自己开发的GAA环绕栅极晶体管技术,一个是PowerVia背部供电技术,可改善以往正面布线的堵塞及压降等问题,两个技术加起来可以降低功耗,提升性能。

18A工艺主要在Intel位于亚利桑那州的Fab 52芯片厂生产,该工厂据悉已经安装了至少4台EUV光刻机,其中一台是最先进型号NXE:3800E,每小时产能可达220片晶圆,其余3台则是NXE:3600D型号,每小时产能160片晶圆。

Fab 52晶圆厂达到设计产能时,每周可生产1万片晶圆,月产能就是4万片晶圆,规模还是很大的,相当于台积电在美国的Fab 21工厂一期及二期的总和。

Intel预计在亚利桑那州的园区最终部署至少15台EUV光刻机,还包括下一代的High NA EUV光刻机,不过具体占比还是谜。

18A工艺的两款产品是PC级的Panter Lake以及服务器级的Clearwater Forest,明年会大量上市,但是目前产能还是爬坡阶段,良率依然是影响产品出货及成本的关键。

Intel之前提到他们已经找到了符合业界标准的良率爬坡曲线,每月提升7%,但是要想达到最理想状态的良率,可能要到2027年初了。

这就意味着CES展会上正式发布的Panter Lake笔记本不会便宜,搞不好跟之前的Lunar Lake一样定位高端,此前Intel的采访中也暗示会放弃一些低端市场。

标签: intel 工艺 台积电 亚利桑那州 良率 产能 型号 fab52 euv光刻机 工厂

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