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恒运昌(688785.SH):Cedar系列射频电源将进一步提升薄膜沉积,刻蚀等工艺参数及良率

IP属地 中国·北京 编辑:格隆汇 格隆汇 时间:2026-05-20 18:36:47

格隆汇5月20日丨恒运昌(688785.SH)在互动平台表示,截至2025年底公司新一代射频电源系统Cedar系列已处于样机验证状态,该产品将射频电源和匹配器整合为一体化平台,产品可支撑更先进制程。Cedar系列射频电源将进一步提升薄膜沉积,刻蚀等工艺参数及良率,并向更多、更广泛的应用领域拓展。公司将积极推进该系列产品的验证。

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