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绕开EUV技术壁垒?中国光刻工厂方案曝光,光刻机巨头开始慌了

IP属地 中国·北京 数字财经智库 时间:2025-12-04 14:16:49

2025年,全球半导体行业上演了最戏剧性的反转:

当美国主导的技术封锁层层加码,荷兰巨头ASML手握EUV光刻机垄断权得意洋洋时,中国突然宣布放弃硬磕单台设备,转而打造集中式光源光刻工厂——

这座被业内称为“光刻电”的超级工程,直接绕开了ASML的技术壁垒,让全球光刻机格局瞬间洗牌。ASML股价应声波动,高层讲话愈发谨慎,曾经的行业霸主,如今真的慌了。



01. ASML的“甜蜜泡沫”:短期狂欢难掩长期危机

ASML曾靠中国市场赚得盆满钵满,但这繁荣背后早已暗藏危机。2023 年之前,中国市场仅占ASML销售额的15%,可随着美国出口管制升级、荷兰政府跟进收紧政策,中国客户掀起了疯狂囤货潮——能买到的深紫外光刻机被一扫而空,甚至把ASML短期订单推到了爆棚状态。

数据最能说明问题:2023年中国市场占比飙升至29%,2024年突破36%,前三季度更是高达41%,中国俨然成了ASML的“摇钱树”。

但ASML高层比谁都清楚,这只是“最后狂欢”。2023年9月起,荷兰要求先进浸润式DUV 机型出口需申请许可;2024年美国进一步升级规则,直接撤销部分老许可,导致NXT:2050i 等关键机型无法对华发货。



2025年4月,荷兰再次扩大许可管制范围,ASML不得不悲观预测:2025年中国业务占比将降至20%,2026年还会持续下滑。即便ASML在北京扩建维修中心,想靠几千台在华设备的维护服务“续命”,可他们心里没底——一旦备件和服务被彻底封锁,这条“长期饭票”也将终结。

前老板彼得・温宁克早有预警:“中国有人才有钱,政治干预只会逼着中国走出自己的路”,如今这话正在一步步变成现实。

02. 中国换道超车:不硬抄EUV,主攻“光刻电站”

面对EUV单机路线的“死胡同”,中国没有硬拼,而是发挥系统集成优势,走出了一条全新的破局之路。要知道,EUV光刻机的光源技术被ASML垄断几十年,专利壁垒厚重,短期内复制几乎不可能。

于是,清华大学从2017年就开始攻关SSMB-EUV方案,核心思路堪称“天才构想”:用大环形储存环产生高功率极紫外光,再通过光束线分配给几十台曝光站同时使用,相当于建一座“光刻电站”,从根源上解决单机光源功率不足的痛点。

这条路线的进展远超外界预期:2021年,清华团队与德国合作在《Nature》发表原理验证,证明激光能精确操控电子束产生相干辐射;2022年的综述更是显示,该方案功率能突破千瓦级,远超ASML单机250瓦的上限;2025年,清华团队再传捷报,研发出聚碲氧烷光刻胶新材料,灵敏度达到国际顶尖水平。



与此同时,多条技术路线并行推进:上海微电子、上海光机所、哈工大等单位攻关的LDP放电等离子体光源取得突破,上海光机所的固体激光转换效率接近6%,上海微电子更是9月工博会上亮出EUV参数图,计划2025年Q3试生产、2026年量产。

更关键的是,2000多家企业抱团推进,把成本压到了ASML的六成左右——中国在同步辐射光源、高铁、特高压等大工程中积累的系统集成经验,此刻成了破局的关键。



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03. 格局重塑:ASML的焦虑,中国的主动权

技术封锁从来都是“双刃剑”,它堵死了一条老路,却逼出了一条更宽的新路。

如今ASML的焦虑已经藏不住了:股价因中国技术突破频繁波动,新老板克里斯托夫・富凯的讲话越来越谨慎,一边承认“中国需求比预期强”,一边又不得不面对“2026年中国市场将大幅下滑”的现实——毕竟中国客户能囤的机器已经囤得差不多了,而管制还在不断收紧。

但中国半导体产业已经掌握了主动权。当集中式光刻工厂正式落地量产,未来先进芯片生产可能不再是“买一台顶级光刻机”,而是“建一座光刻电站”,ASML垄断单机模式的日子或将终结。

2025年的一系列技术突破,只是这场产业变革的开始。全球半导体行业的格局正在重新洗牌,而中国用“系统工程”思维打破垄断的故事,才刚刚翻开精彩的篇章。

半导体这盘大棋,好戏还在后头。

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